退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN113859498A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-31
原文格式PDF
申请/专利权人 中国船舶科学研究中心;
申请/专利号CN202111096454.X
发明设计人 刘建华;徐良浩;许影博;刘登成;陆赟;
申请日2021-09-17
分类号B63H11/04(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/54(20060101);
代理机构32228 无锡华源专利商标事务所(普通合伙);
代理人孙力坚
地址 214082 江苏省无锡市山水东路222号
入库时间 2023-06-19 13:30:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-08-30
授权
发明专利权授予
机译: 模块化设计的真空镀膜单元,包括一个壳体,真空泵和一个镀膜设备,通常用于真空沉积涂料并更快,更有效地抽空隔室
机译: 从真空镀膜设备中插入和移出基板的方法包括用要镀膜的基板替换已经镀膜的基板,同时保持工艺真空和进一步处理
机译: 用于真空镀膜系统的溅射镀膜装置,包括具有安装凸缘和支撑部分的支撑单元,溅射磁控管和真空泵,其中支撑部分通向安装凸缘的吸入口
机译:从真空蒸镀工艺到镀膜工艺,开发出世界上最高速率的蓝色有机EL镀膜材料
机译:多功能溶胶-凝胶层:溶胶-凝胶工艺可替代真空镀膜工艺
机译:真空镀膜-光学技术的大爆炸:自1935年首款抗反射镀膜以来,它一直是精密光学器件制造中必不可少的
机译:边界润滑射击喷丸镀膜镀膜镀膜的摩擦学特性
机译:高速泵诱导器中的涡旋涡流空化和抑制。
机译:利用振动分析研究泵转速对离心泵性能和空化检测的影响
机译:塑料真空镀膜的研究现状
机译:砷生长和真空镀膜化学气相沉积金刚石的电子发射观察