基于CGH补偿器的离轴三反相机的装调测试方法及系统

摘要

基于CGH补偿器的离轴三反相机的装调测试方法及系统涉及光学检测技术领域，解决了现有装调复杂的问题，方法包括：提供CGH补偿器安装第一反射镜，其包括补偿器基板，该基板一侧设有第一反射镜衍射区域、干涉仪衍射区域、第三反射镜衍射区域和激光跟踪仪靶球，利用激光跟踪仪和激光跟踪仪靶球等初步标定CGH补偿器位置通过干涉仪、干涉仪衍射区域和第一反射镜衍射区域对准干涉仪和装调第一反射镜；通过第三反射镜衍射区域和干涉仪装调第三反射镜；通过标准平面反射镜和干涉仪根据干涉仪测得的离轴三反相机光学系统波像差对次反射镜的空间位置进行调整。本发明能够满足对大幅宽、高分辨率、大口径的离轴三反相机在地面进行快速装调检测。