一种电子束对中装置及对中方法

摘要

本发明提供了一种电子束对中装置及对中方法，具体包括以下步骤：在真空状态下，产生电子束；对偏转线圈以一定步长施加偏转电流，并记录电流计的示数；计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；重复上述步骤，得到电子束对中参数，解决了传统电子束对中装置结构复杂，调整起来费时费力的问题，通过扫描方式完成电子束的对中，大大提高了对中精度且可实现调整过程的智能化且对中装置结构简单，操作方便。