一种高硬度、高耐磨性的Zr-B-N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的Zr‑B‑N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层交替叠加而成，涂层调制周期为65‑110nm，周期数≥8；所述Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层的调制比为1：1～9：1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。