一种耐空蚀纳米晶高熵氮化物陶瓷涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种耐空蚀纳米晶高熵氮化物陶瓷涂层的制备方法，属于高熵陶瓷涂层技术领域。本发明采用双阴极等离子体反应沉积技术制备耐空蚀纳米晶高熵氮化物陶瓷涂层，通过调节靶材与工件之间的距离、电压以及通入真空室中的工作气体流量和工作气压，达到控制沉积温度和靶材沉积速率的目的。本发明制备的涂层是由单一的、面心立方结构的纳米晶组成；涂层致密无缺陷，各元素分布均匀，与基体具有良好的结合力。该涂层在降低本征脆性的同时保持了过渡金属氮化物的高硬度、高强度、高耐蚀性能，能有效提高钛合金在模拟海洋环境中的抗空蚀性能，在水工机械领域具有极高的应用潜力。