公开/公告号CN113685239A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-23
原文格式PDF
申请/专利号CN202110913461.8
申请日2021-08-10
分类号F01D25/04(20060101);F01D21/00(20060101);F01D25/28(20060101);G01H17/00(20060101);
代理机构13120 石家庄国为知识产权事务所;
代理人付晓娣
地址 050000 河北省石家庄市体育南大街238号
入库时间 2023-06-19 13:21:35
机译: 半导体装置的故障分析方法,类似芯片的半导体装置的故障分析方法以及半导体装置的动态故障分析装置
机译: 装置故障分析装置,装置故障分析方法和装置故障分析程序
机译: 故障分析装置,故障分析系统,故障分析方法和故障分析程序