公开/公告号CN113670751A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 中国航发北京航空材料研究院;
申请/专利号CN202110878271.7
申请日2021-07-30
分类号G01N3/40(20060101);G01N3/06(20060101);
代理机构11008 中国航空专利中心;
代理人孟庆浩
地址 100095 北京市海淀区北京市81号信箱
入库时间 2023-06-19 13:20:03
机译: 一种用于测量固体材料中孔隙和孔隙率的设备。
机译: 锤子包括锤头和手柄,其中一个元件是由一种材料制成的,而另一个元件是由另一种材料制成的,前一种材料的弹性模量比后一种材料低
机译: 提供用于评估集成电路材料的孔隙率的测量结构的方法,包括通过执行电子显微镜测量或X射线测量来确定两组孔的平均孔隙率