柔性聚合物表面金属纳米裂纹的自动化制造装置及使用方法

摘要

一种柔性聚合物表面金属纳米裂纹的自动化制造装置及使用方法，属于微纳米制造领域。包括底座，支撑结构，驱动模块，传动模块，加载模块，转轴模块，转轴固定模块，辅助转轴模块。由底座与支撑结构构成支架；驱动模块通过传动模块与加载模块连接；纳米裂纹制造区域位于转轴模块处，转轴模块通过转轴固定模块与支撑结构固定；辅助转轴模块避免加载过程中薄膜与驱动模块、加载模块接触。使用时，首先选择一定直径的圆柱转轴，将沉积有金属薄膜的聚合物薄膜放置在圆柱转轴上；加载装置加载使得该薄膜与圆柱转轴垂直相切；驱动单元使得该复合薄膜在圆柱转轴上发生弯曲，产生裂纹。本发明可以实现裂纹自动化制造过程中对工艺参数的精确调节，并且可以实现不同密度的裂纹的制造。