一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法，所述TiAl涂层中包括α‑AlF3纳米颗粒，α‑AlF3纳米颗粒含量为TiAl涂层的5～30vol.％。所述TiAl涂层的制备方法为以TiAl合金靶材和α‑AlF3靶材为原料，在基材表面进行磁控溅射沉积制备涂层；所述磁控溅射为双靶共溅射，溅射时的基材温度为150℃，其中TiAl合金靶材采用直流溅射，功率为0.5～2kW，α‑AlF3靶材采用射频溅射，功率为0.07～0.2kW。双靶共溅射得到涂层后再将所得涂层在600～800℃的温度下热处理5～20h，得到最终的涂层。