一种与基体冶金结合的高熵合金氮化物涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种与基体冶金结合的高熵合金氮化物涂层的制备方法，包括以下步骤：(a)对TiAl基合金表面进行预处理；(b)利用双层辉光等离子表面冶金法，在TiAl基合金表面制备AlCrTaTiZr高熵合金薄膜涂层；(c)利用双层辉光等离子表面冶金法，不断调整氮气与氩气的气体流量比，在AlCrTaTiZr高熵合金薄膜涂层表面制备(AlCrTaTiZr)N高熵合金氮化物薄膜涂层。本发明通过陶瓷化高熵合金氮化物涂层，有效提高了TiAl基合金的高温抗氧化性能以及抗烧蚀性能；通过梯度成分变化，显著提高了涂层与基体的结合强度，延长了TiAl基合金在高温下的服役时间。