一种分步测量光学镜片曲率半径和检测镜片缺陷的方法

摘要

本发明提出了一种分步测量光学镜片曲率半径和检测镜片缺陷的方法，包括(1)初始曲率半径求解：根据采集的干涉图T(x,y)的暗环直径，求得初始曲率半径R0；(2)曲线拟合：以R0仿真牛顿环T0(x,y)，将T(x,y)和T0(x,y)二阶极坐标变换后消除常数项，再叠加形成莫尔条纹，对莫尔条纹进行曲线拟合，得到待测镜片新的曲率半径R1；(3)移相求波前：对R1仿真的干涉图进行多步移相，得到多幅干涉图，分别与T(x,y)叠加，由多幅莫尔条纹得到波前差数据，进一步根据波前差分法求得待测镜片的高精确曲率半径R2；(4)缺陷提取：利用R2去掉干涉图T(x,y)中由曲率半径解得的波前数据，即可得到待测镜片的缺陷数据。