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一种轴向微调机构及具有微调功能的转盘输送装置

摘要

本申请涉及一种轴向微调机构及具有微调功能的转盘输送装置,其包括定载体和动载体,所述动载体位于定载体的上方,所述动载体的下部设有用于承托动载体的内筒,所述定载体固接有套设于内筒的外筒,所述外筒的周侧壁贯穿设有外孔,所述外孔穿设有主动轴,所述主动轴于外筒的内侧设有偏心部,所述内筒设有供偏心部嵌入并具备供偏心部水平位移空间的调节孔。本申请具有精准调整工作台和转盘之间的间距并稳定保持的效果。

著录项

  • 公开/公告号CN113620042A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市华腾半导体设备有限公司;

    申请/专利号CN202111061136.X

  • 申请日2021-09-10

  • 分类号B65G47/80(20060101);

  • 代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;

  • 代理人黄勇;任志龙

  • 地址 518051 广东省深圳市南山区桃源街道留仙大道1201号平山工业区17栋109号2层2号房

  • 入库时间 2023-06-19 13:13:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-03-17

    授权

    发明专利权授予

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