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一种菲涅尔波带片的设计方法、制作方法和设计装置

摘要

本发明涉及光学器件技术领域,具体涉及一种菲涅尔波带片的设计方法、制作方法和设计装置。该方法包括:对菲涅尔波带片进行结构建模,获得菲涅尔波带片模型;计算菲涅尔波带片模型在空间内的第一光强分布;确定焦点中心位置;获得菲涅尔波带片模型的衍射效率;判断菲涅尔波带片模型的衍射效率是否满足设计要求;若否,则更新设定结构参数,并重复以上步骤;若是,则将设定结构参数作为优化后的设定结构参数。本发明创新地使用时域有限差分法来搭建真实的菲涅尔波带片模型,模拟出真实的菲涅尔波带片的工作环境,从而仿真出菲涅尔波带片的缺陷对其衍射现象的影响,通过反复的参数调整更新,进而获得了符合设计要求的菲涅耳波带片。

著录项

  • 公开/公告号CN113625379A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;

    申请/专利号CN202010374021.5

  • 申请日2020-05-06

  • 分类号G02B5/18(20060101);G02B27/00(20060101);

  • 代理机构11302 北京华沛德权律师事务所;

  • 代理人房德权

  • 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

  • 入库时间 2023-06-19 13:12:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-09-26

    授权

    发明专利权授予

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