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公开/公告号CN113607047A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN202110888957.4
发明设计人 于涛;韩爽;王智;隋延林;陈泳锟;
申请日2021-08-04
分类号G01B9/02(20060101);
代理机构22218 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人高一明;郭婷
地址 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
入库时间 2023-06-19 13:09:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-22
授权
发明专利权授予
机译: 双频外差激光路径测量装置距离,具有光导体和信号线,用于电子信号将激光和/或激光信号从电子单元传输到干涉仪单元
机译: 基于高频数字信号锁定边的激光外差干涉信号处理方法
机译:信号参数确定方法,外差干涉仪系统,光刻设备和器件制造方法
机译:LISA干涉仪:杂散光对外差信号相位的影响
机译:使用量子级联激光激发和外差干涉信号检测的气体多通道细胞辅助光声/光热光谱
机译:绝对长度测量干涉仪使用光学频率梳激光激光(第6次报告)的外差信号 - 使用一种光梳和三个激光二极管的节拍信号的超外差干涉仪
机译:相关玻色子场的量子干涉:散粒噪声以下的同质和外差光学干涉仪。
机译:使用Mach-Zehnder和Michelson干涉仪对激光线宽延迟自外差干涉测量的比较
机译:跟踪具有数字锁循环读数的外差干涉仪中象限光电二极管的跟踪长度和差分 - 波对传感信号
机译:改进的外差干涉仪信号处理方法