一种射频溅射蓝色膜层的方法

摘要

本发明公开了一种射频溅射蓝色膜层的方法，包括步骤如下：步骤一：清洁基材，将清洁后的基材放置于镀膜机腔体内的转台上；步骤二：开启真空抽气系统，将腔体内的真空度抽至5.0*10‑3～1.0*10‑2Pa；步骤三：通入惰性气体，使得腔体内的真空度维持在3.0*10‑1～5.0*10‑1Pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率，沉积金属Zr进行打底处理；步骤四：通入惰性气体和氮气，使腔体内真空度维持在1.0～1.6Pa，之后开启射频溅射电源，调节输出功率，沉积金属氮化物ZrN。本发明的蓝色膜层采用射频溅射方式对金属或非金属基材进行镀膜，在镀膜过程中，基材无需施加偏压，均能够在金属或非金属材料表面获得蓝色膜层，且所获得的蓝色膜层颜色均匀。