一种高硬度耐腐蚀氮化锆涂层及其制备方法

摘要

本发明提供了一种高硬度耐腐蚀氮化锆涂层及其制备方法，属于涂层材料技术领域。本发明提供的高硬度耐腐蚀氮化锆涂层的制备方法，包括在基体表面通过磁控溅射沉积氮化锆，得到高硬度耐腐蚀氮化锆涂层；所述磁控溅射的功率为200～300W；所述磁控溅射的保护气体为氩气；所述氩气的流速为50～80sccm；所述磁控溅射的反应气体为氮气；所述氮气的流量为氩气流量的15～30％；所述磁控溅射的工作压强为0.55～1.5Pa。本发明提供的制备方法制备得到的高硬度耐腐蚀氮化锆涂层的组织均匀且致密，涂层无裂纹且基本不存在杂质原子的夹杂；涂层的硬度可达35GPa以上，同时涂层在SBF的腐蚀介质中的腐蚀电位高且腐蚀电流低。