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公开/公告号CN113567437A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN202110853654.9
发明设计人 金亚;徐长达;陈少康;齐艺超;陈伟;李明;祝宁华;
申请日2021-07-27
分类号G01N21/84(20060101);G01N21/01(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-19 13:02:24
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