基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统

摘要

基于低温喷射式制冷的单晶硅生产用除尘罐冷却系统，属于低品位热源利用系统技术领域。它包括恒温水箱、第一水泵、除尘罐、储热水箱、第二水泵及发生器，所述除尘罐的底部设有换热器，所述恒温水箱、第一水泵、设置在除尘罐底部的换热器、储热水箱、第二水泵及发生器之间依次连接形成回路；还包括制冷剂泵、冷凝器、喷射器及蒸发器。本发明系统采用多模式梯级制冷，既节约了系统的能耗，又能够在短时间内实现多个除尘罐的制冷，提高了经济效益；采用蒸汽喷射式制冷系统，具有热源稳定、运动部件少、设备安全性好、系统效率高等多个优点；通过设置的换热器，换热效率高，有效保证了除尘罐的安全性和系统高效制冷。