一种圆柱谐振子不平衡质量的离子束修调装置及方法

摘要

本发明公开了一种圆柱谐振子不平衡质量的离子束修调装置及方法。装置的角度辅助支架可横向移动的安装在真空腔体上，底部安装架可竖向移动的安装在角度辅助支架上，电机安装台可竖向移动且可转动的安装在底部安装架上，自转电机固定安装在电机安装台的下端面，谐振子安装座设于电机安装台的上端面且与自转电机的转轴连接，圆柱谐振子安装于谐振子安装座上，支撑架安装在电机安装台的上表面，溅射屏蔽罩可移动的安装在支撑架上，光阑通过光阑压板定位在溅射屏蔽罩上的卡槽内，角度调节杆的下端安装在底部安装架上，角度调节杆的上端与溅射屏蔽罩的侧面连接。本发明能实现谐振子材料的原子级去除，大幅提高对谐振子不平衡质量去除的精度和可控性。