基于扫描电子显微镜的纳米线宽自适应测量方法及系统

摘要

本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的纳米线宽自适应测量方法及系统。所述方法包括：利用扫描电子显微镜获取纳米线宽图像并提取其强度曲线；根据均值将强度曲线分解为多个子曲线；提取每个子曲线的特征向量，获得特征向量集合；采用k‑means算法对特征向量集合中的多个特征向量进行簇划分，获得只包含单个特征向量的簇；根据该簇确定线宽曲线；根据线宽曲线确定强度曲线基底的平均强度、线宽顶部强度以及中间线条宽度的强度；根据中间线条宽度的强度计算中间线宽宽度值。本发明方法及系统从自动化测量的角度出发，基于k‑means算法，通过曲线分解和特征提取，将线宽结构从强度曲线中自适应地识别出来，通过计算机实现了线宽的精确自动测量。