一种电子束扫描均匀度的自动调整系统及方法

摘要

本发明涉及一种电子束扫描均匀度的自动调整系统及方法，包括电子加速器、扫描线圈、用于给扫描线圈供电的扫描电源，还包括放置于扫描线圈下方用于检测电子束剂量的剂量检测模块以及接收剂量检测模块信号的处理器，所述的剂量检测模块检测到电子束的扫描剂量信号发送至处理器，处理器内部对该信号进行处理并根据需要调整扫描电源对扫描线圈的输出驱动波形；通过改变扫描电源输出驱动波形实现自动调整。可以在电子束扫描不均匀时可以方便进行调节，能够自动调整，用户自己即可以操作，不需要返厂维修，操作方便快捷。