一种氧化铝陶瓷坩埚、其使用结构及生长单晶的方法

摘要

本发明公开了一种氧化铝陶瓷坩埚、其使用结构及生长单晶的方法，一种氧化铝陶瓷坩埚，包括氧化铝陶瓷坩埚、氧化铝陶瓷封帽、硅酸铝陶瓷纤维密封垫片和硅酸铝陶瓷纤维纸层；氧化铝陶瓷坩埚包括从下到上依次相接的籽晶腔、锥部和体部，体部顶部为敞口结构，氧化铝陶瓷封帽螺纹连接在体部顶部，陶瓷纤维密封垫片设在氧化铝陶瓷封帽螺和体部顶部之间；硅酸铝陶瓷纤维纸层活动铺设在氧化铝陶瓷坩埚内侧。本发明生长单晶时，用氧化铝陶瓷坩埚替代石英坩埚，不需要石英氢氧焰焊封，也不需要在VGF单晶炉内充入氮气平衡压力，降低了生产成本；通过的硅酸铝陶瓷纤维纸的设置，极大的程度上提高了单晶炉温场的稳定性，降低了磷化铟单晶的位错密度，提高了成晶率。