公开/公告号CN113517169A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN202110436064.6
申请日2021-04-22
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人彭瑞欣;王婷
地址 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-06-19 12:54:37
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