一种铝酸盐基低介微波介质陶瓷及其制备方法

摘要

本发明公开了一种铝酸盐基低介电常数微波介质陶瓷及其制备方法，其中微波介质陶瓷的主晶相具有石榴石型晶体结构，具体化学组成为(2+x)CaO‑0.5Ln2O3‑(2‑y)ZrO2‑(x+y)MO2‑1.5Al2O3，Ln为Y、La、Lu、Gd或其它镧系元素，M为Hf、Sn或Ti，0≤x≤0.5，0≤y≤2.0。微波介质陶瓷的介电常数为10.81～13.52，品质因数为72441GHz～121930GHz，谐振频率温度系数为+0.50ppm/℃～‑35.48ppm/℃。在制备过程中陶瓷材料预烧条件为1300℃保温5小时，烧结条件为1500℃～1600℃保温10小时。本发明中制备得到的微波介质陶瓷具有低介电常数、高品质因数、谐振频率温度系数可调控至近零的特点，适合用于制备介质基板、介质谐振器、介质天线等微波通讯器件。