一种实时正交的激光自混合干涉位移测量仪及位移重构方法

摘要

本发明公开了一种实时正交的激光自混合干涉位移测量仪及位移重构方法，包括：沿着光路方向依次设置的：一个He‑Ne激光器、一个2°的劈尖、各一个包含有光澜的第一光电传感器和第二光电传感器、待测目标体；所述第一光电传感器和所述第二光电传感器通过采集卡与计算机和待测目标驱动器相互连接。该实时正交的激光自混合干涉位移测量仪及位移重构方法，利用激光自混合干涉的特点、在光路中引入了劈尖结合，构建了一种新的位移测量方法，利用本方法可以实时地实现微弱反馈水平下目标位移快速测量，此外，本方法利用无需提前判断目标位移的运动方向，利用正交位移重构算法可以直接重构出目标的位移波形。