一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片

摘要

本发明公开了一种用于深紫外激光的图形化蓝宝石能量衰减片，包括蓝宝石基片，该蓝宝石基片的一面设有图形结构；该图形结构是将蓝宝石平片的一面经过刻蚀形成；该图形结构包括周期性排列的若干个圆锥形凸起以及位于圆锥形凸起之间的平面区；圆锥形凸起对经由蓝宝石基片垂直入射的深紫外激光进行全反射，平面区对经由蓝宝石基片垂直入射的深紫外激光进行透射。该图形化蓝宝石能量衰减片化学性能稳定，机械强度高，易于处理和清洗，使用寿命长，且可用于高温高压等特殊环境，能够实现对深紫外激光能量的定量衰减。