基于TSV应用于毫米波波段的终端短路抽头交指滤波器

摘要

本发明公开了基于TSV应用于毫米波波段的终端短路抽头交指滤波器，包括硅衬底，硅衬底的上方设有二氧化硅层，硅衬底的下方设有接地金属板；二氧化硅层上布设有金属线RDL，硅衬底内布设有TSV圆柱，TSV圆柱分别与金属线RDL和接地金属板连接。本发明在减少滤波器的面积后并且拥有较高的集成度，能够实现W波段下滤波，同时提高了滤波器的独立性。