使用色彩计量进行的基板的厚度测量

摘要

一种层厚度测量系统包括用于固持基板的支撑件、用于捕获基板的至少一部分的彩色图像的光学传感器、以及控制器。控制器被配置成从光学传感器接收彩色图像；存储函数，所述函数根据至少两个维度的坐标空间中沿预定路径的位置来提供表示厚度的值，所述至少两个维度包括第一色彩通道和第二色彩通道；针对彩色图像的像素，从彩色图像中的色彩数据来确定像素在坐标空间中的坐标；确定在预定路径上最靠近所述坐标的点的位置；以及从函数以及预定路径上的点的位置来计算表示厚度的值。