实现透明材料厚度和倾斜角度测量的系统及方法

摘要

本发明提供一种实现透明材料厚度和倾斜角度测量的系统及方法，利用测得的倾斜角度实时修正厚度测量数据，获得实际厚度，消除了倾角误差的影响，解决了现有技术中厚度测量受倾角误差影响大，系统不可靠、实用性降低的问题。该系统包括厚度测量单元和倾斜角度测量单元；厚度测量单元将被测透明材料上下表面反射回的色散光波传输至数据处理模块，倾斜角度测量单元将被测透明材料表面反射回的测角光波传输至数据处理模块，数据处理模块解算色散光波的光谱，并获得测角光波在光电探测器上的聚焦点偏离光电探测器中心的距离，通过信号处理和数据解算，得到被测透明材料的倾斜角度，利用倾斜角度修正厚度测量数据，获得被测透明材料的实际厚度。