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公开/公告号CN113467294A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉兴市恒光电力建设有限责任公司;
申请/专利号CN202110671316.3
发明设计人 杜九江;刘武川;李伟;刘磊;张路佳;邓涛;陈伟;
申请日2021-06-17
分类号G05B19/042(20060101);
代理机构33109 杭州杭诚专利事务所有限公司;
代理人刘正君
地址 314000 浙江省嘉兴市秀洲区经济技术开发区东升西路88号
入库时间 2023-06-19 12:46:51
机译: 物联网一种基于物联网的智能组件工艺管理方法及使用该方法的基板处理系统
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