一种基于信息论的成像分辨率增强方法

摘要

本发明提供一种基于信息论的成像分辨率增强方法，首先根据信息理论建立PSM的光刻系统信道模型，然后求解信息理论下的最优掩模概率分布、最优光刻系统参数集合，以及最优工艺参数集合，最后采用信息理论方法建立PSM优化算法的数学模型，提高算法收敛精度；由此可见，本发明实质为用信道模型模拟光刻系统，将光刻成像过程抽象为PSM掩模信息在信道中传输的过程，将PSM图案与其对应的光刻成像视为信道的输入信号与输出信号，将光刻系统参数和光刻工艺参数等视为影响PSM信息传输的信道参数，采用算法对PSM掩模进行优化相当于对输入信号的编码过程，进而能够通过信息论方法提高PSM掩模优化算法的收敛精度。