一种自动化激光加工设备

摘要

一种自动化激光加工设备，其包括呈闭环，且依次设置的A号工位、C号工位、D号工位，所述A号工位、C号工位、D号工位同步运动，每个工位上都对应设置有一个搁料盘以搁置片状物料，其中，所述A号工位为上料工位或上料工位、下料工位或上料工位、下料工位、视觉定位工位，所述C号工位、D号工位均为激光加工工位，还可在C号工位、D号工位之间增加至少一个辅助激光加工工位。本设计不仅能够满足大尺寸硅片的高光斑质量、高精度加工要求，而且精度可控性较强，产能较高。