一种金刚石薄膜热导率的测量装置及测量方法

摘要

本发明提供了一种新型的金刚石薄膜热导率测量思路，并设计出了对应的测量装置。上述热导测量装置包括直流电源、加热电极、光路组件、单色非相干光源和CCD探测器。由直流电源在加热电极上加电压，电极通电后产生焦耳热，并传递到被测金刚石样品上，在金刚石样品表面产生一个温度分布。样品表面的温度分布可通过基于CCD的热反射法测量，最后通过热仿真拟合实验温度分布得到金刚石样品的热导率。