一种用于生物医学检测的高灵敏度毫米波介质谐振传感器

摘要

本发明涉及毫米波传感技术与生物医学检测和表征的交叉技术，具体涉及一种用于生物医学检测的高灵敏度毫米波介质谐振传感器，包括由下至上的衬底层、地金属层、氧化层、顶层金属层和钝化层；还包括顶层金属层构建的横向或纵向共面叉指电容结构与方形边框电感结构形成LC并联谐振介质传感器，LC并联谐振介质传感器向外延伸两条传输线作为输入、输出信号端口，且LC并联谐振介质传感器正下方的地金属层挖空，正上方覆盖钝化层。该传感器采用横向和纵向两种介质敏感的共面叉指电容结构，基于标准集成电路工艺，构建横向和纵向两种两种高灵敏度毫米波LC并联谐振介质传感器结构，具有结构紧凑、集成度高、尺寸小、制造简单等特点。