一种透明导电电极及其低温制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种透明导电电极及其低温制备方法和应用，属于导电薄膜技术领域。从下至上依次包括，IZO层、金属层、WOx和ITO层，ITO层掺杂有氢在保证低电阻的同时能够提高光学透过率，并通过合理的光学设计，在电池的吸光层中形成光学谐振，从而进一步增强基于其制备的电子器件的光电转换效率。本发明的透明导电电极，是一种低阻值、高透过率的导电膜系，且可以实现低温制备，满足钙钛矿与晶硅、铜铟镓硒叠层的无损伤、低阻、高透的需求。该性透明导电电极在可见光范围内的平均透过率在85％以上，阻值为15ohm。