一种低温度敏感性谐振式加速度计结构

摘要

本发明公开了一种低温度敏感性谐振式加速度计结构，包括硅结构层，硅结构层包括敏感质量块、一级杠杆放大机构、方向限定机构、两个双端固定音叉谐振器，两个双端固定音叉谐振器紧邻布置，每个双端固定音叉谐振器的一端均通过一个方向限定机构与一个一级杠杆放大机构，另一端通过一个方向限定机构与一个谐振器锚点连接，敏感质量块通过支撑折叠梁与固定框架，在每个两个固定框架之间设置有整体结构锚点。连接两个双端固定音叉谐振器的一级杠杆放大机构为两类不同形式且对称布置，形成加速度计的差分输出。本发明能够消除加速度信号的交叉敏感性，降低甚至消除工作温度变化引起的加速度计频率漂移，提升加速度计的温度性能。