一种激光烧蚀驱动不规则目标二维冲量测量装置及方法

摘要

本申请提供一种激光烧蚀驱动不规则目标二维冲量测量装置，包括：用于发射激光的激光发射装置、用于聚焦激光的聚焦透镜、用于放置目标样品的靶标固定工装、用于悬吊靶标固定工装的悬吊装置、沿激光发射的轴线方向设置的第一位移测量装置以及垂直于激光发射的轴线方向设置的第二位移测量装置；激光发射装置、聚焦透镜以及靶标固定工装沿同一水平线依次横向布置；靶标固定工装可在激光烧蚀目标样品产生的冲量的作用下自由摆动；第一位移测量装置和第二位移测量装置位于同一水平面上，二者分别用于测量各自所在方向上的靶标固定工装的摆动量。本申请可同时测量激光烧蚀驱动不规则目标在水平面两个垂直方向产生冲量。