基于体声波谐振器寄生模式的三维微阵列成型装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于体声波谐振器寄生模式的三维微阵列无模成型装置及成型方法。在压电基板上制作对称形的体声波谐振器，体声波谐振器固定于夹具上，在夹具的正上方装有荧光显微镜，把液体可固化材料放置于体声波谐振器正上方，且直接与体声波谐振器接触，超高频体声波在固液界面处产生强大的体积力，推动液体产生圆形波纹的三维表面形貌，接下来通过荧光显微镜汞灯激发的紫外光使其固化成型。本发明成型的微阵列结构间距大小为2‑3um，相比于表面声波谐振器缩小了十倍左右的间距，图形化微阵列结构起伏的间隔和幅度都可以通过施加的功率和频率来调节，能通过单个器件快速制作出可调节的微阵列结构，制造效率高，制造时间短。