用于测试图像与设计对准的设计文件选择

摘要

本发明提供用于选择一或多个设计文件以供在测试图像与设计对准中使用的方法及系统。一种方法包含通过将第一及第二组图像与针对样品产生的测试图像进行比较而识别所述第一及第二组图像中的哪一组图像最佳匹配所述测试图像。所述第一及第二组图像分别包含所述样品上的第一及第二组设计层中的经图案化特征的图像，所述第一与第二组设计层是彼此不同的。所述方法还包含：通过将所述经识别组的图像与设计文件进行比较而为所述样品选择最佳匹配所述经识别组的图像的所述设计文件；及存储所述经选择设计文件的信息以供在一过程中使用，在所述过程中将所述经选择设计文件中的经图案化特征与在所述过程中针对样品产生的测试图像中的经图案化特征对准。