用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法

摘要

本公开涉及一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法。用于处理超薄玻璃的设备可包含：载物台，用于支撑超薄玻璃；转移部件，用于将超薄玻璃转移到载物台上；粘合片设置部件，用于将粘合片设置到由载物台支撑的超薄玻璃上；以及按压部件，用于在设置在超薄玻璃上的粘合片上提供按压力。这里，超薄玻璃和粘合片可交替地层压以形成超薄玻璃层压体。根据示范性实施例的设备可通过经由粘合片设置部件在多个超薄玻璃(UTG)之间布置粘合片且将多个超薄玻璃彼此接合来形成超薄玻璃层压体。因此，可容易地进行用于超薄玻璃的例如切割工艺或边缘工艺的工艺，且可将超薄玻璃处理成适合于各种产品的使用的优选大小和形状，而没有破裂缺陷。