一种散热效果好的多晶硅还原炉

摘要

本发明公开一种散热效果好的多晶硅还原炉，包括钟罩、底盘和支撑架；所述钟罩与底盘之间的空腔形成反应腔，所述钟罩为含夹套冷却水的双层炉体，所述双层炉体之间设置有导流板；所述底盘上均匀设置有多个电极，所述电极的一端贯穿底盘并延伸至反应腔内；所述底盘下方还设置有进气主管，所述进气主管位于底盘正下方的一端连接有盘型空腔，所述盘型空腔上方均匀设置有多根进气支管，所述进气支管穿过底盘后与设置在反应腔内的喷嘴相连通；所述盘型空腔内设置有缓流板，所述进气主管和进气支管分设在缓流板两侧；该设备在进气时均匀分散喷入反应腔内，钟罩外部涂覆的涂料能够大幅度降低热源温度，解决了多晶硅还原炉散热难、冷却效果不理想的问题。