激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置

摘要

本发明公开一种激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置，第一步，利用激光技术对SiNx膜进行原位开膜形成微凹槽；第二步，利用喷墨打印技术将金属墨水注入微凹槽；第三步，调节激光功率、离焦量、扫描频度以及扫描速度参量，进而确定与膜层微凹槽的定量关系，实现膜层微凹槽的优化与精确控制，保证金属墨水准确注入微凹槽内，加热形成太阳电池金属栅极。通过在喷墨打印前预先对基材进行激光原位开膜，保证了太阳电池栅线电极超细、大“高宽比”的要求，避免在待喷金属墨水中加入玻璃粉的复杂工艺，提高了打印质量，提升了打印效率，降低了打印成本。采用交叉打印方法，使打印出的栅极更加均匀，极大程度的提高了打印精度。