一种基于SERS基底的微流控芯片检测装置的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于SERS基底的微流控芯片检测装置的制备方法，涉及表面拉曼检测领域，其包括以下步骤：S1:利用溶剂蒸发法铺PS小球；S2:利用液面提拉法转移PS球膜；S3:氧等离子体刻蚀；S4:电子束沉积金纳米颗粒；S5:SERS基底的亲水性处理；S6:微流控芯片的加工制作；S7:基底嵌入与芯片的封接；S8:基底表征。本发明通过形成表面具有褶皱微锥的微纳异质结构的SERS基底具有良好的拉曼增强效应，具有良好的检测功能性，且检测过程较为简单；通过利用微流控芯片将SERS基底包覆能够快速、便捷、自动化的进行生化检测分析，结合两种技术的优势能够使检测装置得到更广泛的应用。