公开/公告号CN113252638A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国工程物理研究院流体物理研究所;
申请/专利号CN202110522467.2
申请日2021-05-13
分类号G01N21/65(20060101);G01N21/01(20060101);
代理机构51220 成都行之专利代理事务所(普通合伙);
代理人伍旭伟
地址 621000 四川省绵阳市绵山路64号
入库时间 2023-06-19 12:13:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-28
授权
发明专利权授予
机译: 用于从波长的光束在加工平面中产生照明线的光学系统,包括间隙,照明间隙的照明光学器件以及用于将照明线中的间隙成像到加工平面中的成像光学系统。
机译: 用于测量成像光学系统的测量装置,即用于在像平面上形成物场的投影透镜,其检测器布置在光学系统的前面,参考标记布置在光学系统的后面
机译: 用于图像投影仪的光学系统,其光学单元的表面具有多个小平面,这些小平面的一部分用于将部分照明光束重定向到成像器以照明成像器,以使光束的形状适合成像器