一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法

摘要

本发明公开了一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法，属于吸附垫技术领域，包括基材板，基材板的顶面上设有限位组件，限位组件之间形成不小于一组容纳垫体的槽道，垫体放置在槽道内与基材板相接，限位组件外侧连接的锁定组件贯穿垫体，用于垫体固定在基材板上，锁定组件从限位组件抽出用于垫体更换。本发明提出的一种无尘镀膜的可更换滤吸附垫及其实施方法，针杆插入发泡层将垫体进行固定，也方便后续的更换，横板、侧板和针杆从限位组件抽出，根据三组垫体的含有抛光液，去除含有抛光液最大的一组垫体；更换的垫体重新插入对应的槽道内，侧板和针杆分别与导向槽和限位孔对齐插入直至横板插入条形槽，完成局部更换，降低成本。