公开/公告号CN113182387A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 上海富驰高科技股份有限公司;
申请/专利号CN202110194617.1
申请日2021-02-21
分类号B21D3/10(20060101);B21D43/18(20060101);B21D43/04(20060101);B22F3/24(20060101);
代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;
代理人谢绪宁;薛赟
地址 201900 上海市宝山区逸仙路4318号10、48、49、54、57幢
入库时间 2023-06-19 12:04:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-25
授权
发明专利权授予
机译: 一种在MIM电容器的底部金属图案化过程中消除顶部金属拐角整形的方法
机译: 一种在MIM电容器的底部金属图案化过程中消除顶部金属拐角整形的方法
机译: 一种在MIM电容器的底部金属图案化过程中消除顶部金属拐角整形的方法