一种压阻式压力传感器信号处理模块及其集成方法

摘要

本发明公开了一种压阻式压力传感器信号处理模块及其集成方法。包括电压转换单元和信号处理单元，电压转换单元包括稳压器和薄膜电阻块，信号处理单元包括内置温度传感器的裸芯片、LTCC基板和外壳，稳压器和薄膜电阻块设于LTCC基板正面；LTCC基板上设有通腔，LTCC基板背面设有盲腔，盲腔内埋置有电容；外壳内部设有异型凸台结构，外壳底面上设有外壳引脚；LTCC基板通过通腔套置于外壳内部的异型凸台结构；裸芯片设置于异型凸台结构的表面，裸芯片通过键合丝与LTCC基板连接。所述压阻式压力传感器信号处理模块通过立体组装工艺实现集成。本发明解决了传感器信号处理模块小型化集成设计和高精度温度补偿的技术难点。