位置偏离检测方法及装置、位置异常判定及搬送控制方法

摘要

本发明提供位置偏离检测方法及装置、位置异常判定及搬送控制方法，能够准确地检测在基板未被吸附于载置台的状态下产生的位置偏离。基板的位置偏离检测方法包括以下步骤：获取在第一高度位置处被吸附于载置台的所述基板的第一图像信息或第一位置信息；在解除了对所述基板的吸附的状态下将所述基板从所述载置台交接至保持部，并使所述保持部将所述基板保持在所述第一高度位置；获取被保持于所述第一高度位置的所述基板的第二图像信息或第二位置信息；以及将所述第一图像信息与所述第二图像信息进行比较、或者将所述第一位置信息与所述第二位置信息进行比较，来检测所述基板的位置偏离。