基于光学干涉散射显微技术的检测系统和方法

摘要

本发明涉及缺陷和纳米颗粒检测领域，提供一种基于光学干涉散射显微技术的检测系统和方法。本发明从信号光与参考光干涉形成的光学图像中提取对比度图像作为检测信息。本发明利用样品表面起伏和缺陷或纳米颗粒的空间分布以及几何形貌的不同，将特定偏振态的照明光束以一定角度照射到检测区域，以减小样品表面纳米或亚纳米尺度起伏散射的杂散光强度，并使杂散光的偏振与检测对象散射的信号光偏振不同。在探测光路中有选择性地将杂散光的主要偏振分量和绝大部分参考光滤除，从而增强缺陷或纳米颗粒的检测信号，提升信噪比。本发明能将光学检测技术能检测的缺陷或纳米颗粒尺寸大幅度减小，检测精度大大提高，值得推广应用。