一种基于音叉型石英晶体谐振频率的真空度检测系统

摘要

本发明提供一种基于音叉型石英晶体谐振频率的真空度检测系统，包括：石英晶体，所述石英晶体置于待测真空腔体内；谐振电路，所述谐振电路与所述石英晶体相连，用于控制所述石英晶体进行谐振；谐振信号发生器，所述谐振信号发生器与所述石英晶体相连，用于控制所述谐振电路发生谐振；谐振检测器，用于基于所述谐振电路检测所述石英晶体的谐振频率，上述测量装置中由于石英晶体的元器件尺寸小，因此可以灵活摆放于小空间内，实现了小型空间内的真空程度的测量。